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保护气氛退火控制解决方案

保护气氛退火控制解决方案

由气氛分析系统、过程控制系统和流量控制模块组成的保护气氛退火控制系统,能提供先进智能化的毫伏值或PF值控制,可为客户提供退火工艺的全自动控制系统解决方案。特别适用...

方案介绍

由气氛分析系统、过程控制系统和流量控制模块组成的保护气氛退火控制系统,能提供先进智能化的毫伏值或PF值控制,可为客户提供退火工艺的全自动控制系统解决方案。特别适用于井式炉、罩式炉、STC炉等炉型。


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方案优势

气氛分析模块

专为退火炉设计的SPD低温直插式氧探头,采用特殊的氧化锆陶瓷做敏感元件,在500℃以上即可显示炉内氧毫伏值,可几乎适用于所有的退火气氛

红外分析模块适用于吸热式或放热式气氛的COCO2测量,并提供PF值的计算模块

可选配一体式低温氧探头,用于排空阶段炉内氧含量的测量,节约N2使用量的同时缩短工艺时间,提高设备利用率

 

流量控制模块

N2智能流量控制器

RX气智能流量控制器

CH4C3H8智能流量控制器

 

过程控制模块

基于MCGS触摸屏开发的集监视、控制和记录为一体的退火通用控制器,能够程序化地实现整个退火工艺的温度-流量-PF值/毫伏值全自动控制过程。

 

特点

精确的流量控制±2.5%F.S.

精确的PF值控制±5

可节约工艺气体的消耗量


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